声明

本文是学习GB-T 13842-2017 掺钕钇铝石榴石激光棒. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了掺钕钇铝石榴石(Nd:Y₃Al₅O₂ , 简称 Nd:YAG)
激光棒的技术要求、检验方法、检验

规则和交货准备等。

本标准适用于掺钕钇铝石榴石激光棒。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 1185—2006 光学零件表面疵病

GB/T 2828.1—2012 计数抽样检验程序
第1部分:按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T 11297.1—2017 激光棒波前畸变测量方法

GB/T 11297.3—2002 掺钕钇铝石榴石激光棒消光比的测量方法

GB/T 16601—1996 光学表面激光损伤阈值测试方法

GB/T 27661—2011 激光棒单程损耗系数测量方法

GJB 1209—1991 微电路生产线认证用试验方法和程序

GJB 1525—1992 激光光学元件总规范

JY/T 015—1996 电感耦合等离子体原子发射光谱法通则

JB/T 8226.1—1999 光学零件镀膜 减反射膜

3 尺寸系列

优先选用的直径与长度尺寸组合应符合表1
中涂黑部分,激光棒的直径与长度公差应符合直径

—0.05 mm~0.00 mm;长度-0.5 mm~+0.5mm。
优先选用的直径与长度尺寸组合(英制系列)见表2。

1 优先选用的直径与长度尺寸组合(公制系列) 单位为毫米

直径

长 度

10

20

30

40

50

55

60

70

80

90

100

110

120

140

150

160

180

190

2.0

3.0

4.0

5.0

6.0

7.0

8.0

GB/T 13842—2017

1 ( 续 ) 单位为毫米

直径

10

20

30

40

50

55

60

70

80

90

100

110

120

140

150

160

180

190

9.0

10.0

11.0

12.0

13.0

14.0

15.0

25.0

2 优先选用的直径与长度尺寸组合(英制系列) 单位为毫米

直径

长 度

10

20

30

40

50

55

60

70

80

90

100

110

120

140

150

160

180

190

6.35

9.52

12.70

4 技术要求

4.1 加工要求

4.1.1 激光棒的直径与长度尺寸及尺寸公差应符合第3章的规定。

4.1.2 两端面平行度(平面/平面)应优于或等于10"。

4.1.3 端面对棒轴垂直度应优于或等于5'。

4.1.4 端面表面疵病应符合 GB/T 1185—2006 的规定,具体要求为:B/0.8D
。×0.05;C1×0.01;P0. 1 (B 为麻点; D。 为激光棒直径,单位为 mm;C
为划痕;P 为崩口)。

4.1.5 柱面粗糙度 Ra 应在6 . 3μm~1.25μm。

4.1.6 柱面椭圆度应不大于0.03 mm。

4.1.7 柱面锥度应不大于0.03 mm。

4.1.8 端面平面度在全口径90%直径范围内应优于或等于λ/10。

4.1.9 端面倒边宽度应在0.07 mm~0.13 mm 范围内。

4.2 膜 层

4.2.1 镀增透膜,在波长为1.064 μm 处其剩余反射率不大于0 . 2%。

4.2.2 镀膜后激光棒的麻点和划痕应符合JB/T 8226. 1— 1999
中4.2.2和4.2.3的要求。

4.2.3 抗磨强度应符合JB/T 8226. 1— 1999 中4 . 3的要求。

GB/T 13842—2017

4.2.4 膜层抗激光光损伤阈值应不小于300 MW/cm²。

4.3 棒轴取向

棒轴与晶向\<111>或\<100>之差不得超过5°。

4.4 钕浓度

钕浓度应符合表3所列级别。

3 钕浓度级别

级别

钕浓度(摩尔分数)/%

0.1~<0.8

0.8~<1.0

1.0~<1.3

4.5 光学性能

4.5.1 散射颗粒应按表4规定分级。

4 散射颗粒分级 单位为个每立方厘米

级别

合格级

优等级

散射颗粒

≤20

4.5.2 透射波前畸变(波长为633 nm)、消光比应按表5规定分级。

5 透射波前畸变、消光比分级

尺寸

mm

合格级

优等级

透射波前畸变

条/25 mm

消光比

dB

透射波前畸变

条/25 mm

消光比

dB

φ2~+5

≤0.5

≥25

≤0.125

≥28

φ6~+8

≤0.7

≥22

≤0.2

≥25

φ9~+12.7

≤1.0

≥20

≤0.25

≥23

φ13~+15

≤1.2

≥18

≤0.50

≥20

φ16~+25

≤1.5

≥15

≤0.78

≥18

4.5.3 1.064μm 的单程损耗系数应不大于0.28×10-³cm⁻ ¹。

5 检验方法

5.1 加工要求的检验

5.1.1 用检定合格的量具测量尺寸及尺寸公差。

5.1.2 用测角仪,按 GJB1525—1992 中的平行差的检验方法测量两端面平行度。

5.1.3 用测角仪测量端面对棒轴的垂直度。将被测激光棒水平放在 V
型槽内,用测角仪准直 V 型槽
内的激光棒,然后转动激光棒一周,在测角仪的视场内观测激光棒反射像的移动距离,反射像上下或左

GB/T 13842—2017

右移动应≤5'(即≤10格)。

5.1.4 按 GB/T 1185—2006 规定的检验方法检验端面表面疵病。

5.1.5 用样板并目视检验柱面粗糙度。

5.1.6
将激光棒长度均匀分5个点,用检定合格的千分尺分别测试5点的外圆直径,45°旋转激光棒,旋
转一周,记录每次旋转后的测量结果,五点分别测量旋转过程中的最大偏差,即椭圆度。所有测量数据
之间最大偏差,即锥度。

5.1.7 用光学平面干涉仪,按 GJB1525— 1992
中的面型偏差的检验方法检验端面平面度。

5.1.8 用工具显微镜或类似的显微镜检验端面倒边宽度。

5.2 膜层检验

5.2.1 每炉随激光棒一 同放置三块测试片,用低反仪或分光光度计按JB/T
8226. 1— 1999 减反射膜剩

余反射率测量方法进行测试膜层剩余反射率。

5.2.2 按 GB/T 1185—2006 规定的检验方法检验激光棒的膜层表面疵病。

5.2.3 按 JB/T 8226. 1— 1999 中5 .
3规定的试验方法检验测试片的抗磨强度。

5.2.4 每炉随激光棒一 同放置三块测试片,按 GB/T 16601— 1996
中的试验方法检测测试片的抗激光 损伤阈值;测试系统设置:激光波长为1064
nm, 脉 宽 为 1 0 ns~30 ns,重复频率为1 Hz。

5.3 棒轴取向

用晶坯端面轴向表示激光棒棒轴取向,按 GJB1209— 1991

光棒轴取向。

中的1520方法测定晶坯端面轴向为激

5.4 钕浓度

分别在取激光棒的晶坯的上部和下部各选取一浓度测试样品,按JY/T 015— 1996
的方法进行掺

钕浓度的测量,得到掺钕的质量分数。按式(1)进行激光棒掺钕摩尔分数与质量分数之间的换算:

style="width:1.39334in;height:0.63998in" /> (1)

式 中 :

x — 晶坯测试样品掺钕摩尔分数,%;

y — 激光棒掺钕质量分数,%;

M — 激光棒的相对分子质量(Nd:YAG 的相对分子质量为198.62);

Mke—— 钕元素的相对原子质量(Nd 元素的相对原子质量为144.24)。

激光棒的掺钕浓度为晶坯上、下两个浓度测试样品掺钕浓度按照式(2)计算出的平均值:

style="width:1.62667in;height:0.57992in" /> (2)

式 中 :

C 激光棒掺钕摩尔分数,%;

C 上 晶坯上部掺钕摩尔分数,%;

x 下— 晶坯下部掺钕摩尔分数,%。

5.5 光学性能

5.5.1 散射颗粒

用 5 mW~10 mW 的 He-Ne
激光作为检测光源,将样品放置于检测光源的光路中,并用φ3 mm 的

GB/T 13842—2017

光斑进行检测。首先让 He-Ne
激光光束通过激光棒中心,然后上下、左右移动晶体棒,用肉眼从侧面观

察晶体棒内部的散射颗粒。

5.5.2 透过波前畸变

按 GB/T11297.1—2017 的规定测量激光棒的透过波前畸变。

5.5.3 消光比

当系统在正交偏光状态下,选取φ5光斑,系统消光比在40 dB~45 dB时,按GB/T
11297.3—2002

的规定测量激光棒的消光比。

5.5.4 单程损耗系数

按 GB/T 27661—2011 的规定测量激光棒的单程损耗系数。

6 检验规则

6.1 检验分类

本标准规定的检验分为交收检验、周期检验和型式检验。

6.2 交收检验

产品交货时,激光棒应100%的按表6所列全部项目进行检验并分级,剔除不合格品。

6 交收检验项目表

序号

项目名称

要求章条号

测量方法章条号

1

尺寸及尺寸公差

4.1.1

5.1.1

2

两端面平行度

4.1.2

5.1.2

3

端面垂直度

4.1.3

5.1.3

4

端面表面疵病

4.1.4

5.1.4

5

柱面粗糙度

4.1.5

5.1.5

6

端面平面度

4.1.8

5.1.7

7

端面倒边宽度

4.1.9

5.1.8

8

膜层剩余反射

4.2.1

5.2.1

9

膜层表面疵病

4.2.2

5.2.2

10

散射颗粒

4.5.1

5.5.1

11

透射波前畸变

4.5.2

5.5.2

12

消光比

4.5.2

5.5.3

6.3 周期检验

6.3.1 检验项目

检验项目按表7所列项目进行检验。

GB/T 13842—2017

7 周期检验项目表

序号

项目名称

要求章条号

测量方法章条号

1

柱面椭圆度

4.1.6

5.1.6

2

柱面锥度

4.1.7

5.1.6

3

膜层抗磨强度

4.2.3

5.2.3

4

膜层抗激光光损伤阈值

4.2.4

5.2.4

5

棒轴取向

4.3

5.3

6

钕浓度

4.4

5.4

7

单程损耗系数

4.5.3

5.5.4

6.3.2 抽检数量及周期

6.3.2.1 表7中第1项和第2项,每批进行一
次抽检,以每次生产的总数为一批,抽检数量按 GB/T 2828.1—2012
的规定进行,抽检方案为AQL≤2.5, 适用于一般民用产品。

6.3.2.2
表7中第3项、第4项、第5项、第6项及第7项,每半年至少进行一次,每次随机抽取1个~
3个测试样品。

6.4 型式检验

型式检验项目应包括4.1~4.5的全部技术要求。有下列情况之一时,应进行型式检验:

a) 新产品或老产品进行生产的试制定型鉴定时。

b) 正式生产后如材料、工艺、设备等有较大改变,可能影响产品性能时。

c) 出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时。

d) 首次生产和停产后再生产时。

e) 国家质量监督机构提出进行例行检验的要求时。

6.5 判定规则

型式检验如有一项或几项不合格,应分析原因,采取措施后,重新检验,合格后方可生产。

6.6 复检

如订购方要求,应对交收检验项目及周期检验项目中的一项或多项,逐项进行复检,以复验结果分

级并剔除不合格品。

7 标志、包装、运输、贮存

7.1 标志

7.1.1 在掺钕钇铝石榴石激光棒的合格证上应注明下列内容:

a) 产品名称;

b) 产品型号或标记;

c) 产品编号;

d) 制造单位名称;

GB/T 13842—2017

e) 其他需要标志的内容。

7.1.2 包装盒内应有产品合格证及该掺钕钇铝石榴石激光棒的主要技术参数。

7.1.3 掺钕钇铝石榴石激光棒上应以适当的方法注出产品编号或生产批号。

7.2 包装

掺钕钇铝石榴石激光棒应用专用包装盒包装,包装盒应牢固并能防压、防震、防潮。

7.3 运输

掺钕钇铝石榴石激光棒应用冲击振动小的运输工具或在采取防冲击防振动的措施下运输,不能跌

落与碰撞、不能受挤压。

7.4 贮存

应在室温无腐蚀及干燥通风的条件下贮存。

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